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明治大学
研究推進部
生田研究知財事務室
TEL: 044-934-7639 E-mail: tlo-ikuta@mics.meiji.ac.jp
2014年6月改訂走査型熱顕微鏡
SThM
の開発
中別府
修
理工学部
School of Science and Technology, Department of Mechanical Engineering機械工学科
ミクロ熱工学研究室
Osamu Nakabeppu
http://www.isc.meiji.ac.jp/~mte_lab/研究方針
研究の方針ナノテクを 入 た熱流体工学の新展開 走査型熱顕微鏡 半 体微 デバイ の熱的評価。 超高感度熱量計 代謝熱計測を通 の生体診断。 超高速熱分析 材料特性の評価。
研究内容
集積回路内のトラン タ 微 デバイ の温度や熱物性値を10nm の空間分解能 計測 技術，装置の開発を行っ いま 。走査型顕微鏡 微細加工技術を組合わせ こ ，基本的 計測技術の革新的飛躍が行わ いま 。
用 途 半 体微 デバイ の温度計測，ナノ材料の物性評価
関連画像
SThM の原理図
温度計測用プロヸブ 微 発熱線の形状ヷ温度分布計測
関連特許 微 熱分析用プロヸブお び微 熱分析装置 び 微 熱分析方法 特開2006-105935 微 熱量測定装置お び微 熱量測定方法 特許第4851831号
